真空度测试仪说明书

真空度测试仪说明书
第一章 安全规则及注意事项
请您在使用 MVC 系列真空度测试仪前仔细阅读本手册。
� 在开机之前请先接好所有测试连接线，如打印机连接线；
� 测量前，请检查管型是否适合所检测的真空管，以便准确测量。
� 开机、关机及测量时，不要触及高压线和磁控电流线，以防触电。
� 仪器在使用过程中，如发现线圈发出异常响声，应考虑测试线短路或接触不良，或者空
气十分潮湿，或真空断路器表面罩有灰尘等因素。
� 请不要使用汽油、香蕉水等化学剂擦拭机器，而应使用柔软干燥的布。
� 请确认当地电网电压是否与本机供电电压相符。
交流 220±10% 50/60H
Z
� 请注意不要在雷雨的情况下使用机器。
� 请不要破伤随机所带的线缆，以确保使用安全。
� 仪器出现故障时，非本公司专业技术人员严禁擅自打开仪器进行检修。
� 严禁高压端直接或间接对地断路。
第二章 仪器简介
MVC-383真空度测试仪是真空灭弧室的真空度的
鉴定设备。经西安高压电器研究所检验并出具合格证
书。是目前国内能唯一的真实检测真空含量的少数品
牌之一。它以单片计算机为主控单元，测试过程完全
实现自动化。该仪器在原理上改变了国内外同类产品
采用电流峰值做标定的方法，而采用离子电荷来做标
定。这样，在物理原理上准确性更高，而且，有效地
抑制了测试过程中脉冲电源的干扰，使测试稳定可靠。该仪器采用二次采样的方法扣除由于
环境因素产生的漏电电流，并且在测量过程中考虑了完全漏气的真空灭弧室的判别，真正做
到了对安装于整机上的真空灭弧室的准确计量。目前，该仪器中已存有 35 条真空灭弧室的测
量标准曲线，涵盖了国内外绝大多数管型。该仪器质量过硬，性能可靠，造形美观，使用方
便。
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性能特点：
1、基于电离电荷的采样技术
MVC 系列真空度测试仪均采用基于电离电荷的采样技术。我公司专家在磁控放电的
研究中发现：在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时，真空灭弧室内的
真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系，而与电离电流的峰值仅有概率上的相关间
接关系。因此，我公司首创了基于电离电荷的采样技术，显著提高了真空灭弧室的真空度
计量的准确性。
2、高低压管型测试
本机另外对测试电压输出应用了两个档位(高压 3 万低压 2.5)，因此可对高低压不同
的各类管型时行有效测试。
3、内置国内外几乎所有真空灭弧室的测量曲线
真空灭弧室由于其几何尺寸、材料的不同，当内部真空度和外加激励电源一定时，其
放电电荷量是不同的，并且有相当的差异。为准确测量，对每一种真空灭弧室必须有对应
的从电离电荷量到真空度推算曲线。我公司的专家通过与国内主要真空灭弧室生产厂家的
密切合作，取得了几乎国内外所有真空灭弧室的电离电荷和真空度关系的数据，通过数学
处理，将其特征参数送入 MVC-383 系列产品。因此，MVC-383 系列产品内置国内外几乎
所有真空灭弧室的测量曲线。这是国内外同类产品中绝无仅有的。
4、漏电电流的处理
对处于分断状态的真空灭弧室动触头加高压静触头端加负离子电流时，静触头端会有
数值不等的几个微安的漏电电流，此漏电电流即使是同型号的真空灭弧室也有较大的个体
差异。尤其是对于装在整机上的真空灭弧室，由于其周边的绝缘支撑件也有漏电，这些漏
电的总和有更大的不稳定性和不可预测性。并且在数值上与 10E—4Pa 数量级的真空灭弧
室的电离电流相当。我们采用二次起动高压的方法，扣除了漏电电流，保证了无论是装于
整机上还是待装的真空灭弧室的真空计量精度。
5、判别完全漏气的真空灭弧室
在 MVC-383 型机中，通过高压击穿的方式判别真空灭弧室是否完全漏气。
6、完善的输入保护电路
当真空灭弧室的真空度非常低时，测量时真空灭弧室会被高压击穿，瞬间的高压直接
加至负离子电流采样电路上，使其承受十分强的电冲击。MVC-383 的采样电路增加了完
备的保护电路，即使仪器由于输入端的高压直接加到负离子电流采样端居第一时间，微电
脑保护装置会立即起控，使其进入保护状态，就不会造成电路严重的损坏。
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7、数据记录
内设微型打印机，可随时打印出被测数据。
第三章 测试原理
利用离子电流在不同真空条件下的漏电流不同，来测试鉴别真空灭孤室优劣。
将灭弧室两触头拉开一定的开距，动触头施力高压脉冲静触头施加负离子电流。由于漏
电电流非常弱，易于受到外界不同的干扰而降低精度。因此，必须通过励磁线圈绕于灭弧室
外侧，向线圈通以大电流，从而在灭弧室内产生与高压同步的脉冲磁场来，加速离子流，按
比例放大采样率。这样，在脉冲磁场的作用下，灭弧室中的电子作螺旋运动，并与残余气体
分子发生碰撞电离，所产生的离子电流与残余气体密度即真空度近似成比例关系。对于直径
不同的真空管，在同等真空度条件下，离子电流的大小也不相同。通过实验可以标定出各种
管型的真空度与离子电流的对应关系曲线。当测知离子电流后，调用内部相对应的比例参样，
加以精确运算，得出准确真实真空度值。也就是说通过查询该管型的离子电流——真空度曲
线获得该管型的真空度，这一过程由计算机自动完成。
第四章 技术参数
� 所测真空泡：电压等级 6KV-35KV 以上
� 测量范围：10-5 10-1Pa
-
� 测量误差：10-4 -10-1Pa 中误差±10%
� 测量分辨率：10-5 Pa
� 漏气的灭弧室在测量中将发生电击穿，本机处于保护状态。
� 允许环温：-20℃-50℃，如在 0℃以下测试时请先将机器通电 20 分钟后再使用。
� 空气湿度：＜85%RH
� 输入电源：AC220V±10% 50/60HZ
� 外形尺寸：350×320×225mm]
� 主机重量：10.8kg
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第五章 真空度测试仪面板和外部接线图
磁控电流输出
面板介绍::::
1、 离子电流输出端：用于输出测试所需的离子电流。（漏电流采样端）
2、 磁控电流输出端：用于输出测试所需的磁控电流来加速电子流以减小外界的各种因素
对测量精度的影响。
3、 高压输出端：用于输出测试所需的高压。（低 2. 5 万伏高 3 万伏）详见 3.3.5 操作说
明.
4、 外接电源:提供仪器所需的工作电压。AC220V±10% 50/60HZ)
5、 电源开关：控制仪器的总开关。
6、 管型：用于选择与测试相对应的管型。
7、 真空度显示：用于显示检测真空度的真实值。（读数用科学计数法读取）

尊敬的用户，真空度测试仪是一种专门用于测量和检测设备或系统内部真空状态的精密仪器。它通过测定单位体积内的气体分子数量来确定真空环境的压力值，常应用于航天、半导体制造、食品包装、实验室研究以及各类机械设备的气密性检测等领域。 关于真空度测试仪的说明书，通常会包含以下内容： 1. 产品概述：介绍测试仪的基本结构、工作原理、主要功能及适用范围； 2. 技术参数：详细列出仪器所能达到的真空度范围、精度、响应时间等关键指标； 3. 使用方法： - 开箱检查与安装步骤 - 连接电源并校准（如有必要） - 如何启动和操作仪器进行真空度测量 - 测量过程中的注意事项与安全规定 4. 示例应用：展示在实际使用场景中如何正确地对不同设备或系统进行真空度测试，并给出相应的测试数据处理与分析方法； 5. 维护保养与故障排除：介绍仪器日常维护的要点、常见问题及解决办法； 6. 售后服务与联系方式：提供产品的质保期、维修保养政策以及售后服务热线等相关信息。 为了更好地理解和使用真空度测试仪，请您查阅具体的用户手册或联系我们的技术支持获取详细的操作指南和相关文档。如果您有关于真空度测试仪的具体使用疑问，也欢迎您随时向我们提问。