LS-ZK383真空度测试仪说明书
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LS-ZK383 真空度测试仪是真空灭弧室的真空度的鉴定设备。经西安高压电器研究所检验并出具合格证书。是目前国内能唯一的真实检测真空含量的少数品牌之一。该仪器采用二次采样的方法扣除由于环境因素产生的漏电电流，并且在测量过程中考虑了完全漏气的真空灭弧室的判别，真正做到了对安装于整机上的真空灭弧室的准确计量。目前，该仪器中已存有35条真空灭弧室的测量标准曲线，涵盖了国内外绝大多数管型。
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保 定 隆 胜 电 气 有 限 公 司
使用说明书
LS-ZK383
真空度测试仪
PDF 文件使用 "pdfFactory Pro" 试用版本创建 À安全规则及注意事项
请您在使用 LS-ZK 系列真空测试仪前仔细阅读本手册。
l 在开机之前请先接好所有测试连接线，如打印机连接线；
l 测量前，请检查管型是否适合所检测的真空管，以便准确测量。
l 开机、关机及测量时，不要触及高压线和磁控电流线，以防触电。
l 仪器在使用过程中，如发现线圈发出异常响声，应考虑测试线短路或接触不良，或者空
气十分潮湿，或真空断路器表面罩有灰尘等因素。
l 请不要使用汽油、香蕉水等化学剂擦拭机器，而应使用柔软干燥的布。
l 请确认当地电网电压是否与本机供电电压相符。交流 220±10% 50/60HZ
l 请注意不要在雷雨的情况下使用机器。
l 请不要破伤随机所带的线缆，以确保使用安全。
l 仪器出现故障时，非本公司专业技术人员严禁擅自打开仪器进行检修。
l 严禁高压端直接或间接对地断路。
第一章 仪器简介
LS-ZK383 真空度测试仪是真空灭弧室的真空度的鉴定设备。经西安高压电器研究所检验
并出具合格证书。是目前国内能唯一的真实检测真空含量的少数品牌之一。它以单片计算机
为主控单元，测试过程完全实现自动化。该仪器在原理上改变了国内外同类产品采用电流峰
值做标定的方法，而采用离子电荷来做标定。这样，在物理原理上准确性更高，而且，有效
地抑制了测试过程中脉冲电源的干扰，使测试稳定可靠。该仪器采用二次采样的方法扣除由
于环境因素产生的漏电电流，并且在测量过程中考虑了完全漏气的真空灭弧室的判别，真正
做到了对安装于整机上的真空灭弧室的准确计量。目前，该仪器中已存有 35 条真空灭弧室的
测量标准曲线，涵盖了国内外绝大多数管型。该仪器质量过硬，性能可靠，造形美观，使用
方便。
性能特点：
1、 基于电离电荷的采样技术
LS-ZK383 系列真空度测试仪均采用基于电离电荷的采样技术。我公司专家在磁控放
电的研究中发现：在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时，真空灭弧室
内的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系，而与电离电流的峰值仅有概率上的相
关间接关系。因此，我公司首创了基于电离电荷的采样技术，显著提高了真空灭弧室的真
空度计量的准确性。
PDF 文件使用 "pdfFactory Pro" 试用版本创建2、 高低压管型测试
本机另外对测试电压输出应用了两个档位(高压 3 万伏低压 2.5 万伏)，因此可对高低
压不同的各类管型时行有效测试。
3、 内置国内外几乎所有真空灭弧室的测量曲线
真空灭弧室由于其几何尺寸、材料的不同，当内部真空度和外加激励电源一定时，其
放电电荷量是不同的，并且有相当的差异。为准确测量，对每一种真空灭弧室必须有对应
的从电离电荷量到真空度推算曲线。我公司的专家通过与国内主要真空灭弧室生产厂家的
密切合作，取得了几乎国内外所有真空灭弧室的电离电荷和真空度关系的数据，通过数学
处理，将其特征参数送入 LS-ZK383 系列产品。因此，LS-ZK383 系列产品内置国内外几
乎所有真空灭弧室的测量曲线。这是国内外同类产品中绝无仅有的。
4、 漏电电流的处理
对处于分断状态的真空灭弧室动触头加高压静触头端加负离子电流时，静触头端会有
数值不等的几个微安的漏电电流，此漏电电流即使是同型号的真空灭弧室也有较大的个体
差异。尤其是对于装在整机上的真空灭弧室，由于其周边的绝缘支撑件也有漏电，这些漏
电的总和有更大的不稳定性和不可预测性。并且在数值上与 10E—4Pa 数量级的真空灭弧
室的电离电流相当。我们采用二次起动高压的方法，扣除了漏电电流，保证了无论是装于
整机上还是待装的真空灭弧室的真空计量精度。
5、 判别完全漏气的真空灭弧室
在 LS-ZK383 型机中，通过高压击穿的方式判别真空灭弧室是否完全漏气。
6、 完善的输入保护电路
当真空灭弧室的真空度非常低时，测量时真空灭弧室会被高压击穿，瞬间的高压直接
加至负离子电流采样电路上，使其承受十分强的电冲击。LS-ZK383 的采样电路增加了完
备的保护电路，即使仪器由于输入端的高压直接加到负离子电流采样端居第一时间，微电
脑保护装置会立即起控，使其进入保护状态，就不会造成电路严重的损坏。
7、 数据记录
内设微型打印机，可随时打印出被测数据。
第三章 测试原理
利用离子电流在不同真空条件下的漏电流不同，来测试鉴别真空灭孤室优劣。
将灭弧室两触头拉开一定的开距，动触头施力高压脉冲静触头施加负离子电流。由于漏
电电流非常弱，易于受到外界不同的干扰而降低精度。因此，必须通过励磁线圈绕于灭弧室
外侧，向线圈通以大电流，从而在灭弧室内产生与高压同步的脉冲磁场来，加速离子流，按
PDF 文件使用 "pdfFactory Pro" 试用版本创建 www.fineprint.com.cn比例放大采样率。这样，在脉冲磁场的作用下，灭弧室中的电子作螺旋运动，并与残余气体
分子发生碰撞电离，所产生的离子电流与残余气体密度即真空度近似成比例关系。对于直径
不同的真空管，在同等真空度条件下，离子电流的大小也不相同。通过实验可以标定出各种
管型的真空度与离子电流的对应关系曲线。当测知离子电流后，调用内部相对应的比例参样，
加以精确运算，得出准确真实真空度值。也就是说通过查询该管型的离子电流——真空度曲
线获得该管型的真空度，这一过程由计算机自动完成。
第四章 技术参数
l 所测真空泡：电压等级 6KV-35KV 以上
l 测量范围：10-5 10-1Pa
-
l 测量误差：10-4 -10-1Pa 中误差±10%
l 测量分辨率：10-5 Pa
l 漏气的灭弧室在测量中将发生电击穿，本机处于保护状态。
l 允许环温：-20℃-50℃，如在 0℃以下测试时请先将机器通电 20 分钟后再使用。
l 空气湿度：＜85%RH
l 输入电源：AC220V±10% 50/60HZ
l 外形尺寸：350×320×225mm
第五章 真空度测试仪面板和外部接线图
面板介绍:
LS-ZK383 真空度测试仪
PDF 文件使用 "pdfFactory Pro" 试用版本创建1、 离子电流输出端：用于输出测试所需的离子电流。（漏电流采样端）
2、 磁控电流输出端：用于输出测试所需的磁控电流来加速电子流以减小外界的各种因素
对测量精度的影响。
3、 高压输出端：用于输出测试所需的高压。（低 2. 5 万伏高 3 万伏）详见 3.3.5 操作说
明.
4、 外接电源:提供仪器所需的工作电压。AC220V±10% 50/60HZ)
5、 电源开关：控制仪器的总开关。
6、 管型：用于选择与测试相对应的管型。
7、 真空度显示：用于显示检测真空度的真实值。（读数用科学计数法读取）
8、 Pa（真空度）灯：用于指示当前读数类型、单位
9、 A（电流）灯：用于指示当前读数类型、单位。详见 3.3.4 操作说明。
10、 高压选择开关：用于选择测量所需的高压等级，被测管型是 10KV 以上选用的高档位。
10KV 以下选用低档位。
11、 磁控电压：用于指示磁控线圈的电压。
12、 按键：选择键用于选择管型，选择键灯亮为有效；选择管型后，选择键灯灭为选中。
使用说明书
LS-ZK383
真空度测试仪
PDF 文件使用 "pdfFactory Pro" 试用版本创建 À安全规则及注意事项
请您在使用 LS-ZK 系列真空测试仪前仔细阅读本手册。
l 在开机之前请先接好所有测试连接线，如打印机连接线；
l 测量前，请检查管型是否适合所检测的真空管，以便准确测量。
l 开机、关机及测量时，不要触及高压线和磁控电流线，以防触电。
l 仪器在使用过程中，如发现线圈发出异常响声，应考虑测试线短路或接触不良，或者空
气十分潮湿，或真空断路器表面罩有灰尘等因素。
l 请不要使用汽油、香蕉水等化学剂擦拭机器，而应使用柔软干燥的布。
l 请确认当地电网电压是否与本机供电电压相符。交流 220±10% 50/60HZ
l 请注意不要在雷雨的情况下使用机器。
l 请不要破伤随机所带的线缆，以确保使用安全。
l 仪器出现故障时，非本公司专业技术人员严禁擅自打开仪器进行检修。
l 严禁高压端直接或间接对地断路。
第一章 仪器简介
LS-ZK383 真空度测试仪是真空灭弧室的真空度的鉴定设备。经西安高压电器研究所检验
并出具合格证书。是目前国内能唯一的真实检测真空含量的少数品牌之一。它以单片计算机
为主控单元，测试过程完全实现自动化。该仪器在原理上改变了国内外同类产品采用电流峰
值做标定的方法，而采用离子电荷来做标定。这样，在物理原理上准确性更高，而且，有效
地抑制了测试过程中脉冲电源的干扰，使测试稳定可靠。该仪器采用二次采样的方法扣除由
于环境因素产生的漏电电流，并且在测量过程中考虑了完全漏气的真空灭弧室的判别，真正
做到了对安装于整机上的真空灭弧室的准确计量。目前，该仪器中已存有 35 条真空灭弧室的
测量标准曲线，涵盖了国内外绝大多数管型。该仪器质量过硬，性能可靠，造形美观，使用
方便。
性能特点：
1、 基于电离电荷的采样技术
LS-ZK383 系列真空度测试仪均采用基于电离电荷的采样技术。我公司专家在磁控放
电的研究中发现：在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时，真空灭弧室
内的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系，而与电离电流的峰值仅有概率上的相
关间接关系。因此，我公司首创了基于电离电荷的采样技术，显著提高了真空灭弧室的真
空度计量的准确性。
PDF 文件使用 "pdfFactory Pro" 试用版本创建2、 高低压管型测试
本机另外对测试电压输出应用了两个档位(高压 3 万伏低压 2.5 万伏)，因此可对高低
压不同的各类管型时行有效测试。
3、 内置国内外几乎所有真空灭弧室的测量曲线
真空灭弧室由于其几何尺寸、材料的不同，当内部真空度和外加激励电源一定时，其
放电电荷量是不同的，并且有相当的差异。为准确测量，对每一种真空灭弧室必须有对应
的从电离电荷量到真空度推算曲线。我公司的专家通过与国内主要真空灭弧室生产厂家的
密切合作，取得了几乎国内外所有真空灭弧室的电离电荷和真空度关系的数据，通过数学
处理，将其特征参数送入 LS-ZK383 系列产品。因此，LS-ZK383 系列产品内置国内外几
乎所有真空灭弧室的测量曲线。这是国内外同类产品中绝无仅有的。
4、 漏电电流的处理
对处于分断状态的真空灭弧室动触头加高压静触头端加负离子电流时，静触头端会有
数值不等的几个微安的漏电电流，此漏电电流即使是同型号的真空灭弧室也有较大的个体
差异。尤其是对于装在整机上的真空灭弧室，由于其周边的绝缘支撑件也有漏电，这些漏
电的总和有更大的不稳定性和不可预测性。并且在数值上与 10E—4Pa 数量级的真空灭弧
室的电离电流相当。我们采用二次起动高压的方法，扣除了漏电电流，保证了无论是装于
整机上还是待装的真空灭弧室的真空计量精度。
5、 判别完全漏气的真空灭弧室
在 LS-ZK383 型机中，通过高压击穿的方式判别真空灭弧室是否完全漏气。
6、 完善的输入保护电路
当真空灭弧室的真空度非常低时，测量时真空灭弧室会被高压击穿，瞬间的高压直接
加至负离子电流采样电路上，使其承受十分强的电冲击。LS-ZK383 的采样电路增加了完
备的保护电路，即使仪器由于输入端的高压直接加到负离子电流采样端居第一时间，微电
脑保护装置会立即起控，使其进入保护状态，就不会造成电路严重的损坏。
7、 数据记录
内设微型打印机，可随时打印出被测数据。
第三章 测试原理
利用离子电流在不同真空条件下的漏电流不同，来测试鉴别真空灭孤室优劣。
将灭弧室两触头拉开一定的开距，动触头施力高压脉冲静触头施加负离子电流。由于漏
电电流非常弱，易于受到外界不同的干扰而降低精度。因此，必须通过励磁线圈绕于灭弧室
外侧，向线圈通以大电流，从而在灭弧室内产生与高压同步的脉冲磁场来，加速离子流，按
PDF 文件使用 "pdfFactory Pro" 试用版本创建 www.fineprint.com.cn比例放大采样率。这样，在脉冲磁场的作用下，灭弧室中的电子作螺旋运动，并与残余气体
分子发生碰撞电离，所产生的离子电流与残余气体密度即真空度近似成比例关系。对于直径
不同的真空管，在同等真空度条件下，离子电流的大小也不相同。通过实验可以标定出各种
管型的真空度与离子电流的对应关系曲线。当测知离子电流后，调用内部相对应的比例参样，
加以精确运算，得出准确真实真空度值。也就是说通过查询该管型的离子电流——真空度曲
线获得该管型的真空度，这一过程由计算机自动完成。
第四章 技术参数
l 所测真空泡：电压等级 6KV-35KV 以上
l 测量范围：10-5 10-1Pa
-
l 测量误差：10-4 -10-1Pa 中误差±10%
l 测量分辨率：10-5 Pa
l 漏气的灭弧室在测量中将发生电击穿，本机处于保护状态。
l 允许环温：-20℃-50℃，如在 0℃以下测试时请先将机器通电 20 分钟后再使用。
l 空气湿度：＜85%RH
l 输入电源：AC220V±10% 50/60HZ
l 外形尺寸：350×320×225mm
第五章 真空度测试仪面板和外部接线图
面板介绍:
LS-ZK383 真空度测试仪
PDF 文件使用 "pdfFactory Pro" 试用版本创建1、 离子电流输出端：用于输出测试所需的离子电流。（漏电流采样端）
2、 磁控电流输出端：用于输出测试所需的磁控电流来加速电子流以减小外界的各种因素
对测量精度的影响。
3、 高压输出端：用于输出测试所需的高压。（低 2. 5 万伏高 3 万伏）详见 3.3.5 操作说
明.
4、 外接电源:提供仪器所需的工作电压。AC220V±10% 50/60HZ)
5、 电源开关：控制仪器的总开关。
6、 管型：用于选择与测试相对应的管型。
7、 真空度显示：用于显示检测真空度的真实值。（读数用科学计数法读取）
8、 Pa（真空度）灯：用于指示当前读数类型、单位
9、 A（电流）灯：用于指示当前读数类型、单位。详见 3.3.4 操作说明。
10、 高压选择开关：用于选择测量所需的高压等级，被测管型是 10KV 以上选用的高档位。
10KV 以下选用低档位。
11、 磁控电压：用于指示磁控线圈的电压。
12、 按键：选择键用于选择管型，选择键灯亮为有效；选择管型后，选择键灯灭为选中。
AIGCLS-ZK383真空度测试仪是一款专门用于测量各种真空环境下的气体压强的精密仪器。该设备可能属于实验室、工业生产过程控制或科学研究等领域中的常用工具，它能够准确地测定并显示被测系统内的绝对压力（相对于真空状态的压力值），通常以帕斯卡(Pa)、托里拆利(Torr) 或巴(bar)等国际单位制表示。
具体内容描述可能包括：
1. 产品概述：LS-ZK383真空度测试仪采用了先进的传感器技术和微处理器控制，具备精确的真空度检测能力，适用于低至高真空范围内的应用，如半导体行业、真空泵性能测试、真空包装、航空航天以及科学研究等。
2. 测量原理：通过利用热力学或电离效应原理，测量并转换为电信号，再经过内部信号处理和校准后显示出真空度数值。
3. 技术参数：
- 测量范围：通常标注为0 Pa至X Torr或X mbar（具体取决于型号规格）
- 精度等级：可能提供±(0.5%FS+1Pa)或更高精度级别
- 显示方式：LCD显示屏，可以显示实时真空度值、最大值、最小值及趋势图等功能
- 连接接口：可能配备标准的RS-232或USB通信接口，以便于数据导出与远程监控
4. 使用方法与操作步骤：详细阐述如何正确安装、开机、校准、测量真空环境以及关机等步骤，并给出常见问题的解决方案。
5. 注意事项与维护保养：列举在使用过程中应注意的安全事项、设备维护要点以及电池更换、存储等方面的要求。
6. 附录：包含技术参数表、尺寸图、典型应用示例、常见问题解答以及售后服务联系方式等相关信息。
总之，LS-ZK383真空度测试仪说明书会详细介绍产品的功能特点、使用方法、维护保养等内容，帮助用户全面理解和掌握设备的操作与应用。
